Die Entwicklung des Lehrstuhls Mikrosystemtechnik begann mit der Berufung von Herrn Prof. Bertram Schmidt im Jahre 1998. Der Lehrstuhl Mikrosystemtechnik beschäftigt sich mit der Entwicklung und Herstellung von Mikrosystemen, insbesondere von mikromechanischen Sensoren und Aktuatoren. Der Fokus der Arbeiten wird sich in den nächsten Jahren auf die Schaffung von Mikrosystemen im Bereich der Medizin sowie Automotive konzentrieren.

Neben der Entwicklung von Mikrobauteilen in Silizium, Quarz und Langasit steht insbesondere die Systemintegration mit der Entwicklung von zuverlässigen Verfahren der Aufbau- und Verbindungstechnik sowie alternativen Substrattechnologien (Polymere, Keramik) im Vordergrund der Forschungsarbeiten. Zur Durchführung der Forschungsarbeiten stehen dem Lehrstuhl ein Mikrosystemtechnik-Reinraum, Labore für die Aufbau- und Verbindungstechnik, Spritzgießanlagen für die Entwicklung von räumlichen elektronischen Baugruppen (spritzgegossene Schaltungsträgern in 3-D MID-Technologie / engl. Molded Interconnect Device) sowie eine entsprechende Rechnerinfrastruktur zur Verfügung. Neben der Entwicklung von dreidimensionalen spritzgegossenen Schaltungsträgern beschäftigt sich der Lehrstuhl auch mit der Forschung und Entwicklung von dreidimensionalen spritzgegossenen Keramikbauelementen.