Otto-von-Guericke-Universität Magdeburg
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Prof. Dr.-Ing. Edmund P. Burte
Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik (FEIT)
Institut für Mikro- und Sensorsysteme (IMOS)
Universitätsplatz 2, 39106, Magdeburg, G10-313
Tel: 0391-67-18398
Fax: 0391-67-12103
edmund.burte@e-technik.uni-magdeburg.de
http://www.uni-magdeburg.de/imos
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Lehrveranstaltungen (2)
Aktuelle Projekte
Patent-Nr.: DE 198 01 508 C1
Laufzeit: 23.09.2011 - 23.09.2015
Verbundprojekt: Globale planare Multichip Module - Global -; Teilvorhaben: Untersuchung Beschichtungsverfahren
Laufzeit: 01.04.2011 - 31.12.2013
DE 20 2005 008 774.U1 Verfahren und Schaltungsanordnung zur Messung der Strömungsgeschwindigkeit eines Fluids
Laufzeit: 27.11.2009 - 26.11.2013
EP 1 625 368 und WO 2004/106875 Schaltungsanordnung und Verfahren zum Auslesen elektrischer Signale aus hochauflösenden thermischen Sensoren.
Laufzeit: 27.11.2009 - 26.11.2013
Patent-Nr.: DE 197 31 241 C2
Laufzeit: 23.09.2009 - 23.09.2013
KMU-innovativ - Verbundprojekt: Modulares Multigas Sensorsystem - MUGASEN - Teilvorhaben: Messprinzip und Sensorentwicklung
Laufzeit: 01.01.2011 - 30.06.2013
Offenlegungsschrift DE 103 22 860 A1
Laufzeit: 01.10.2009 - 30.06.2013
MOCVD von Strontium-Bismut-Tantalat-/ Niobat-Schichten für ferroelektrische Speicherkondensatoren
Laufzeit: 01.06.2010 - 31.05.2013
Atomlagenabscheidung von Germanium-Antimon-Tellurid
Laufzeit: 01.05.2011 - 30.04.2013
Entwurf, Optimierung, CMOS-kompatible Herstellung und Charakterisierung von abstimmbaren planaren/koplanaren DGS Filtern
Laufzeit: 01.05.2010 - 30.04.2013
Patent-Nr.: DE 197 32 687 C2
Laufzeit: 20.04.2009 - 20.04.2013
Abgeschlossene Projekte
Untersuchungen zur Herstellung von Kontakt- und Bismut-Tellurid basierten thermoelektrischen Schichtstrukturen auf Kaptonfolien
Laufzeit: 28.03.2011 - 30.09.2011
Exist-Gründerstipendium Gyrosys-Bewegungsanalyse
Laufzeit: 01.08.2010 - 31.07.2011
COMO - Competence in Mobility (Teilprojekt B1-3705202)
Laufzeit: 01.09.2007 - 31.05.2011
Herstellung ultraflacher pn-Übergänge in Silicium durch Kurzzeitdiffusion aus einer durch Atomic Layer Deposition abgeschiedenen Dotierstoffquelle
Laufzeit: 16.12.2008 - 15.12.2010
Sicherheit & Komfort - COMO B1 - Integrierte Piezostrukturen für das adaptive Fahrwerk
Laufzeit: 01.09.2007 - 31.08.2010
Planarer Flussratensensor zur Messung des Volumens- und Massendurchflusses von Gasen in Strömungskanälen
Laufzeit: 01.01.2007 - 30.06.2010
Ruthenium-Nanostäbe als Bodenelektrode für dreidimensional aufgebaute Kondensatoren
Laufzeit: 16.06.2008 - 15.06.2010
ForMat - Universelles HF-basiertes Ortungs- und Erfassungssystem
Laufzeit: 01.10.2009 - 31.03.2010
Metallorganische Gasphasenabscheidung von dünnen Germanium-Antimon-Tellurid-Schichten
Laufzeit: 01.07.2006 - 30.06.2009
Herstellung und Charakterisierung von silberhaltigen dünnen Germanium-Selen-Schichten
Laufzeit: 09.10.2006 - 15.12.2008
Messsystem zur online-Überwachung von Megasonic Reinigungsdüsen und Verfahrensentwicklung eines Messsystems zur Charakterisierung von Megasonic Systemen (PRO INNO II)
Laufzeit: 01.08.2005 - 31.12.2007
Passive Infrarot Personenerfassung in der Heimautomatisierung
Laufzeit: 01.02.2005 - 31.01.2007
Untersuchungen zur Strukturierung, Passivierung und Kontaktierung von Thyristoren auf Siliziumcarbid
Laufzeit: 01.05.2003 - 30.06.2005
Herstellung und Charakterisierung der ferroelektrischen Schicht Strontium-Bismut-Tantalat aus Ein- und Zweikomponenten-Precursoren
Laufzeit: 01.12.2001 - 30.04.2005
Untersuchungen zu Personenerfassungssystemen
Laufzeit: 01.07.2000 - 31.01.2005
Gasphasen-Nass-Reinigung von Siliciumoberflächen
Laufzeit: 01.01.2003 - 31.12.2004
Mikromechanischer HF-Schalter mit Paddel- und Brücken-Kontaktfederstruktur
Laufzeit: 01.01.2002 - 31.12.2004
Hochfrequenzschalter in Oberflächenmikromechanik für Mobilfunkanwendungen
Laufzeit: 12.01.2002 - 31.12.2004
In Siliciumoberflächen-Mikromechanik hergestelltes infrarotempfindliches Detektorarray
Laufzeit: 01.12.2001 - 31.12.2004
Chemische Gasphasenabscheidung dünner Silberschichten aus metallorganischen Precursoren
Laufzeit: 01.03.2002 - 31.08.2004
Verbundvorhaben Personenerfassungssystem - PES. Teilvorhaben: Halbleitertechnologie und Sensorarray
Laufzeit: 01.10.2000 - 30.06.2004
Herstellung anorganischer Materialien durch Gasphasensynthese - Forschungsschwerpunkt der DFG
Laufzeit: 01.07.2001 - 30.06.2003
Kurzzeit-Gasphasendotierung von Silicium
Laufzeit: 01.09.2000 - 31.08.2002
Verbundvorhaben Mikrosystemtechnisch hergestelltes Sensorsystem zur Klimadatenerfassung (A-Haus). Teilvorhaben Sensor und Kalibrierung
Laufzeit: 01.11.1998 - 31.10.2001
Reaktivgas / Nareinigung von Siliciumoberfllächen
Laufzeit: 01.07.1998 - 31.12.2000
Letzte Änderung: 16.05.2012 - Ansprechpartner:
Prof. Dr.-Ing. Edmund P. Burte
bildlink:http://www.forschung-sachsen-anhalt.de/||fenster:_blank
bildlink:http://www.ttz.ovgu.de/%3Ftransfergutschein||fenster:_blank
Kontakt
Frau Dr.
Sylvia Springer
Technologie-Transfer-Zentrum
Tel.: +49 391 67 18838
Fax: +49 391 67 12111
springer@ovgu.de
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